Elaboration d'un procede de microfabrication et caracterisation de tiges suspendues pour un moteur electrostatique a micro-echelle

Le travail effectue pour ce projet avait pour objectif la realisation de tiges microscopiques suspendues dans le but de les utiliser ulterieurement pour la fabrication d'un micromoteur MEMS nouveau genre. Cette recherche visait aussi a fonder les bases de la realisation de microsystemes mecaniques a l'Universite de Sherbrooke pour realiser, dans un futur proche, une panoplie de microdispositifs.; Une nouvelle geometrie de moteur electrostatique a ete presentee ainsi que ses differents modes de fonctionnements. Plusieurs methodes de fabrication ont ete montrees pour la realisation de tiges suspendues avec leurs avantages et inconvenients. La caracterisation de plusieurs resines photosensibles a ete faite dont la SU8. Des electrodepositions de nickel ont ete faites avec un grand taux de deposition, une precontrainte controlable ainsi qu'une temperature de deposition tres faible.; Des tiges suspendues faites de nickel electrodepose ont ete fabriquees avec succes. La methode developpee permet de realiser des microstructures mobiles en peu d'etapes tout en evitant les problemes relies a la stiction. Ces tiges ont ensuite ete flechies par des forces electrostatiques. Le flechissement statique des tiges a ete valide avec un logiciel de simulation. Finalement, un nouveau precede de fabrication du moteur utilisant la nouvelle methode est propose ainsi que quelques applications qui pourraient etre realisees.